湿泵主要特性和优势：

适合“湿式”应用的 Edwards RV 泵的主要优点：

• 任何旋转式叶片泵的*高蒸汽泵送能力
• 独特的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
• 任何旋转式叶片泵的*高气镇流量提供 220g/hr（在 RV12 上为 290g/hr）的水蒸汽处理能力
• 配备可选的油回收套件，可确保在高流量下，油保持在泵内

对于溶剂/蒸汽与氟橡胶 (FKM) 密封不兼容的应用，提供腈 (Buna-N) 转换套件。另外，泵送大量氧化剂时，可以订购备有 PFPE 的泵。

多尘
适合“多尘”应用的 Edwards RV 泵的主要优点

• 一流的防反吸保护可避免灰尘回流到制程中
  通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
  在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
• 大直径油路 (3-5mm) 可避免堵塞
  一些竞争对手的泵的油路直径不足 1mm

Edwards 的 RV 泵系列利用半导体行业的 PVD 和 CVD 应用经验而设计，适用于多尘应用。

清洁/干燥
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点

• 独特的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
• 配备可选的油回收套件，可确保在高流量下，油保持在泵内
• 一流的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
  通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
  在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭

获得专利的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用，可以安装一个可选的油回收套件，以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。

氧化剂
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点：

• 任何旋转式叶片泵的*高气镇流量
  允许稀释泵送的气体以便*大限度地减少油的氧化
• 提供 PFPE 选配型
  适合泵送氧气和卤代化合物

RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量，同时保持稀释到爆炸下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气，与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化，RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样，这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂，如卤素和卤代化合物。对于这些化合物，着火/爆炸不是问题，但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。